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多晶硅材料的制備

鉅大LARGE  |  點擊量:1382次  |  2019年08月19日  

當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則形成多晶硅。

1)碳還原法

在電弧中,利用純度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右進(jìn)行還原反應(yīng),可生成多晶硅。


2)三氯氫硅氫還原法

3)硅烷熱分解法

4)四氯化硅氫還原法


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