鉅大LARGE | 點擊量:1261次 | 2019年08月06日
Itrix公開30英寸的石墨烯薄膜
日本納米壓印設備廠商Itrix在正在舉行的展會“第22屆Finetek Japan”上,公開了尺寸為700mm×400mm(相當于30英寸)的石墨烯薄膜。該公司代表董事社長長谷川正治表示,“此次公開的是單層石墨烯薄膜。光透射率為97.5%”。
此次公開的石墨烯薄膜由韓國Graphene Square公司制造。Itrix還展出了由Graphene Square公司生產的、可在A4尺寸銅(Cu)箔上制造石墨烯薄膜的CVD設備。長谷川說道:“聽說該設備在韓國已經賣出了100臺”。
在PET基板上成膜的30英寸(700mm×400mm)石墨烯薄膜。左圖薄膜中有石墨烯的部分(右半部分)與沒有石墨烯的部分(左半部分)的放大照片。隱約可以看出光的反射率不同。Graphene Square公司的A4尺寸石墨烯薄膜(銅箔上)制造設備。左圖制造設備的內部。石墨烯薄膜的制造流程是,先將銅箔卷成卷放入這個透明的石英管內,加熱至約1000℃,然后再輸入甲烷(CH4)氣體。不同基板上的石墨烯。左側是玻璃基板,右側是PET基板。左側是銅箔上的石墨烯,右側是SiO2晶圓上的石墨烯。
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